項目
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技術要求
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靈敏度(分辨率*)
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0.1µm-5µm范圍內粒徑分辨率≦10%
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測量不確定度
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在粒徑設定檔,濃度誤差±20%
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校準周期
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不超過12個月,或規定的性能驗證時
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計數效率
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最小粒徑閥值時(50±20%),大于或等于最小粒徑閥值的1.5倍時(100±10%)
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低濃度范圍
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與實際預期的最低計數相比,偽計數不顯著。自凈階段計數在一段時間內等于零(例如,5min內無計數)
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高濃度范圍
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在使用點,大于設施潔凈度上限濃度2倍,且不超過制造商建議最大濃度的75%
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